成都西野供應日本日立HITACHI超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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產品名稱: 成都西野供應日本日立HITACHI超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

產品型號: Regulus系列

產品展商: 日本日立HITACHI

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簡單介紹

成都西野供應日本日立HITACHI超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。成都西野供應日本日立HITACHI超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

成都西野供應日本日立HITACHI超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 的詳細介紹

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的佳性能
與現(xiàn)有機型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

項目	Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率	0.8 nm （加速電壓15 kV） 1.1 nm （著陸電壓1 kV）*3	0.7 nm（加速電壓 15 kV） 0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓	0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率	20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺	樣品臺控制	3軸馬達臺（可選5軸馬達臺）	5軸馬達驅動
移動范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
R	360°
T	-5～70°
Z	1.5～30 mm	1.5～40 mm
再現(xiàn)性	-	-	-	±0.5 μm以下含±0.5 μm