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模型
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SH200-A
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SH200-R
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SH200-E（預(yù)定發(fā)布）
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規(guī)格
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標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
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串行通信規(guī)格
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EtherCAT 規(guī)格
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自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器
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M-44 (NW16)、M-45 (NW25)、M-46 (ICF070)
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可連接傳感器
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多離子規(guī)傳感器：1 個
皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個（選項）
大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項）
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重復(fù)精度 (N 2 )
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SH200單機(jī)模式：±2%
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采樣時間
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60ms 5 個移動平均線
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測量值輸出
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輸出電壓 DC 0-10V LOG 輸出 0.75V / 1位
壓力轉(zhuǎn)換公式 V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2) P = 10 ^ {(V-7.25) /0.75+2}
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更新時間
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60毫秒
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控制輸入信號
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FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF
使用開路集電極輸入，負(fù)邏輯
* FIL ON / OFF 信號根據(jù)模式使用不同。
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控制輸出信號
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傳感器錯誤，設(shè)定點 1/2/3，發(fā)射電壓，
燈絲功率監(jiān)測
額定值：24V MAX，50mA MAX，飽和電壓 1V
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串行通信規(guī)格
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RS232C / RS-485
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EtherCAT
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LED顯示屏
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POWER / ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
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SET1：設(shè)定點1LED
SET2：設(shè)定點 2LED
SET3：設(shè)定點 3LED
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發(fā)射電流
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1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上）
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脫氣
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電子沖擊解吸法（電子轟擊）1mA，330V
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傳感器耐壓
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2 x 10 +5 Pa（優(yōu)良壓力） * 法蘭和卡箍等承受壓力需要單獨考慮。
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傳感器內(nèi)部容積
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17cm 3 (M-44), 19cm 3 (M-45), 17cm 3 (M-46)
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工作溫度限制
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10-50℃
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工作濕度范圍
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15-80%（但無冷凝）
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貯存溫度
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-20～65℃（不通電時不結(jié)露）
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知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級
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IP30
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電源電壓
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DC20-28V（紋波、噪聲1%以下）、8W以下
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輸入/輸出連接器
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D-sub 15針（M2.6螺絲）
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大量的
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控制器：約 280g 觸控筆（M-44、M-45）：80g，（M-46）：300g
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外形尺寸 W × D × H
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69mm x 63mm x 90mm（控制器部分）
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符合標(biāo)準(zhǔn)
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行政長官
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可選的
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多離子規(guī)傳感器
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M-44 (NW16), M-45 (NW25), M-46 (ICF070)
材質(zhì)：燈絲 1,2 -Ir / Y 2 O 3 Coat
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar / Ni電鍍
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皮拉尼規(guī)
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SWU10-R * 與傳統(tǒng) SPU 兼容
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皮拉尼規(guī)傳感器
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SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18管端）、SWP-P15（Φ15管端）
材質(zhì)：燈絲-Pt、其他- BS/Ni、電鍍、Ni、焊錫
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氣壓傳感器
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SAU (NW16) 材質(zhì)：SUS316L
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單元電纜
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GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m
GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
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顯示單元
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1CH：ISG1（使用24V直流電源）
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顯示單元電纜
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SH200 和顯示單元之間的電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
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連接器
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輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
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其他
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檢驗報告、一般校準(zhǔn)測試報告、JCSS校準(zhǔn)證書
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