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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科低溫泵

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科低溫泵
產(chǎn)品型號: 低溫-U22H
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

ULVAC Cryo已應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽能、聚變、航天開發(fā)等多個領(lǐng)域，并積累了良好的業(yè)績。


成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科低溫泵  的詳細介紹

低溫泵

CRYO-U系列

低溫-U22H

阿爾巴克低溫

ULVAC Cryo已應(yīng)用于電子、光學(xué)、太陽能、聚變、航天開發(fā)等多個領(lǐng)域，并積累了良好的業(yè)績。

特征

  • 適用于大型成膜設(shè)備。
  • 水的*大排氣速度。

外形尺寸（單位：mm）

u22h.gif

規(guī)格

排氣速度（20℃） 氮 升/秒 17,000
氫 25,000
氬氣 14,000
水 39,000
達到壓力 帕（托） 10 -7 (10 -9 )
*大流量 氬氣 帕·升/秒（托爾·升/秒） 4.1 × 10 3 (31)
氫 1.3 × 10 3 (9.6)
排氣量 氬氣 帕·L（托爾·L） 8.1 × 10 8 (6.1 × 10 6 )
氫 8.5 x 10 6 (6.4 x 10 4 )
冷卻下降時間
（電源循環(huán)） 		分鐘（赫茲） 150/135 (50/60)
進氣法蘭 UVG-550
壓縮機組 C30VRT x 2
大量的 公斤 125.0

* 保養(yǎng)間隔：16,000小時
U22H和U30H根據(jù)《外匯及外貿(mào)管制法》的規(guī)定歸類為戰(zhàn)略物資等出口管制產(chǎn)品
。
當您將其帶出日本時，請辦理必要的手續(xù)，例如向日本政府申請出口許可證
。

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