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產品資料

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科低溫泵

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科低溫泵
產品型號: 低溫-U16
產品展商: ULVAC愛發(fā)科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

ULVAC Cryo已應用于電子、光學、太陽能、聚變、航天開發(fā)等多個領域，并積累了良好的業(yè)績


成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科低溫泵  的詳細介紹

低溫泵

CRYO-U系列

低溫-U16

阿爾巴克低溫

ULVAC Cryo已應用于電子、光學、太陽能、聚變、航天開發(fā)等多個領域，并積累了良好的業(yè)績。

特征

  1. 大中型生產設備的理想選擇。
  2. 大批量薄膜沉積設備的理想選擇。
  3. 耐熱負荷的類型。

外形尺寸（單位：mm）

u16-u16p.gif

規(guī)格

排氣速度（20℃） 氮 升/秒 5,000
氫 10,000
氬氣 4,200
水 16,000
達到壓力 帕（托） 10 -7 (10 -9 )
*大流量 氬氣 帕·升/秒（托爾·升/秒） 1.4 × 10 3 (11.0)
氫 4.1 × 10 2 (3.1)
排氣量 氬氣 帕·L（托爾·L） 4.3 × 10 8 (3.3 × 10 6 )
氫 2.4 × 10 6 (1.8 × 10 4 )
冷卻下降時間
（電源循環(huán)） 		分鐘（赫茲） 110/100 (50/60)
進氣法蘭 UVG-400
壓縮機組 C30VRT
大量的 公斤 61.0

* 維護間隔：16,000 小時
* 機芯底座可選

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